測(cè)量

范圍

Z軸(垂直)

640μm (-320μm~320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin)

X軸(水平)

17.5mm（0.69 inch）

分辨率

Z軸

（垂直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

0.020μm/±160μm

0.040um/±320um

測(cè)量

項(xiàng)目

參數(shù)

Ra    Rz  Rq  Rt    Rc  Rp  Rv    R3z  R3y  Rz(JIS)    Ry  Rs  Rsk    Rku  Rmax  Rsm     Rmr  RPc  Rk    Rpk  Rvk  Mr1    Mr2

標(biāo)準(zhǔn)

ISO4287國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)；ANSI B46.1美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)；

DIN4768德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)；JIS B601日本標(biāo)準(zhǔn)

圖形

支承率曲線，粗糙度 原始輪廓，濾波波形

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長(zhǎng)度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評(píng)定長(zhǎng)度（ln）

Ln= lr×n      n=1~5

傳感器

測(cè)量原理

位移式差動(dòng)電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測(cè)力

觸針測(cè)力：4mN；導(dǎo)頭測(cè)力：<400mN

導(dǎo)頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s    lr=0.8,      Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,     Vt=1mm/s        返回      Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值誤差

±(5nm+0.1A)         A:多刻線樣板參數(shù)Ra的標(biāo)準(zhǔn)值

示值重復(fù)性（變動(dòng)性）

不大于3%

殘余輪廓

不大于0.010μm

電源及充電電壓

3600mAh鋰離子電池，

主機(jī)外形尺寸

155×145×58mm

驅(qū)動(dòng)器外形尺寸

23×27×115mm

支架可調(diào)高度

40mm

重量

約1000g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃   ~  40℃     濕度：< 90% RH

儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境

溫度：- 40℃  ~   60℃   濕度：< 90% RH

可選配件

磁性表座、表座連接塊、高度尺、高度尺連接塊，曲面?zhèn)鞲衅鳌⑿】讉鞲衅鳌⑸畈蹅鞲衅鳌O小孔傳感器、延長(zhǎng)桿、轉(zhuǎn)接桿、微型打印機(jī)、200mm測(cè)量平臺(tái)、300mm大理石測(cè)量平臺(tái)，數(shù)傳處理軟件，手機(jī)APP